よくあるご質問への回答集
クリーンルームの清浄度クラスについて教えて下さい
清浄度クラスとは、クリーンルームの性能を等級分けする指標のことです。クラスを示す尺度は、単位体積に含まれる粒子の数で示されています。
さらに詳しい解説は動画をご覧ください。
清浄度クラスの歴史・清浄度クラスの定義・一般的な環境とクリーンルーム環境における清浄度の比較・清浄度規格表の説明などの解説もございます。
（「清浄度クラスの歴史」は1分2秒周辺。「清浄度クラスの定義」は1分45秒周辺で解説しています。）
※清浄度クラスについては下記表をご参照ください
ISO14644-1 清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度
※横にスクロールしてご確認ください。
| 清浄度クラス | 上限濃度（個/m3） | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO 14644-1 |
米国連邦規格 （Fed.Std.209E） |
測定粒径 | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | ||
| Class 1 | - | 10 | 2 | - | - | - | - |
| Class 2 | - | 100 | 24 | 10 | - | - | - |
| Class 3 | 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | - | - |
| Class 4 | 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | - |
| Class 5 | 100 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | - |
| Class 6 | 1,000 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| Class 7 | 10,000 | - | - | - | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| Class 8 | 100,000 | - | - | - | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| Class 9 | - | - | - | - | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |