業界別解説
クリーン環境の必要性
【業界別解説】クリーンルームの
必要性
半導体業界
半導体業界では、シリコンという半導体結晶を薄板（ウエハ）にしたものの上に絶縁層を幾層にも積み重ね、そこに1μの数分の1という微小な寸法でできた回路パターンを順々に作りこんでいくという超微細加工技術を駆使し、300工程以上を費やしてLSI（大規模集積回路）が製造されています。 この工程において、歩留りが高くない・不良の原因の大半が製造途中で付着する微粒子にあるといわれています。そこで歩留りを高めるためには清浄度の高いクリーン環境が求めれています。
ウエハプロセスの汚染物付着に
よる欠陥と歩留り
薬品工場・食品工場
薬品工場・食品工場においては、無菌に近い状態が求められています。ウイルスやさらに小さいバクテリアを除去するために、HEPAフィルタを通して空気を清浄化することにより、そうした状態を作り出すことが可能です。 特に近年では、医薬関連製造におけるGMP・バリデーション、食品工場においてはHACCPが定められたことにより、施設や設備の改造の見直し・生産過程における衛生管理・品質管理の改善が求められております。
クリーンルームを
必要とする分野
