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Pressure 圧力分布測定システム
シリコンウェハ用圧力分布
＜歩留まりアップを圧力管理からサポート！＞
■シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。
■バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。
■センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。
■測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています（パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください）。
用 途
■バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。
■センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。
■測定データは2次元・3次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています（パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください）。
| シリコンウェハ研磨押付圧力分布 | CMP |
| 2次元・3次元表示 | 単位の変更 | ASCIIデータへのセーブ |
| 等圧線表示 | ピークプレッシャー表示 | データのカラープリントアウト |
| データの平均化処理 | 力対時間のグラフ | 各種データの編集機能 |
| COF（力の中心点）表示 | 圧力の断面表示 | ズームアップ機能 |
| COFの軌跡の表示 | サンプリング速度の変更 | データのレコーディング |
| 接触面積の表示 | トリガー機能 | ノイズスレッショルドの変更 |
| 自動出力補正機 | レコーディングデータの 2画面表示他 |
| 種類 | 呼称 | 分解能 （mm） |
マトリックス数 | センサー部サイズ （mm） |
測定範囲 （KPa） |
寸法 （mm） |
| SCAN | 100 | 2.54 | 44×44 | 112×112 | （0.5）5〜50 （H）20〜200 （R）130〜1300 |
a：149 b：116 c：248 d：420 |
| 150 | 3.75 | 165×165 | （R）130〜1300 | a：200 b：170 c：90 d：320 |
||
| 210 | 5.4 | 238×238 | （0.8）8〜80 （H）20〜200 （R）130〜1300 |
a：284 b：250 c：200 d：540 |
||
| BIG-MAT | 1300 | 10 | 44×48 | 440×480 | 30〜300 | |
| 1500 | 15〜150 | |||||
| 1750 | 7.5〜75 | |||||
| 2000 | 2〜20 |
| 種類 | 分解能 （mm） |
マトリックス数 | センサー部サイズ （mm） |
測定範囲 （KPa） |
寸法 （mm） |
| C-SCAN12S | 4.1 | 88×88 | 360.8×360.8 | 5〜50 20〜200 |
12インチ 面圧測定用 |
| C-SCAN08E | 1.0×5.0 | 80×10×4ユニット | 80×50×4ユニット | 20〜200 | 8インチ 端部測定用 |
| C-SCAN12E | 1.0×5.0 | 80×10×4ユニット | 80×50×4ユニット | 20〜200 | 12インチ 端部測定用 |
○センタ内分布精度 ±10%
○サンプリング速度 最大66Hz
○I-SCANは上記の他にも種類があります。
また、測定範囲は変更することができます。
○1KPa≒0.01kgf/cm²
