半導体関連部材メーカー様の新工場にクリーンルーム設計施工。温湿度管理、レイアウト設計、省エネ課題を解決｜蒲田工業株式会社

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半導体関連部材メーカー様の新工場にクリーンルーム設計施工。温湿度管理、レイアウト設計、省エネ課題を解決

お客様のお困りごと　　KE-58

半導体業界のお客様の事例です。
お客様は、新工場の建設に伴い、半導体関連で使用する部材を扱うためのクリーンルームの導入を検討されていました。また、レイアウト設計から設備一式までをトータルで提案してほしいというご要望をお持ちでした。

お客様の抱える課題

1階エリアと2階エリアのそれぞれの製造環境に合わせたクリーンルーム仕様設計が必要。
1階エリア：排気設備が必要。（有機溶剤を使用する洗浄装置があるため）
2階エリア：温湿度管理が必要。（帯電防止）　さらに、作業スペースを広くするためのレイアウトの工夫も必要
クリーンルームを最適に運用するために必要な設備一式の提案が必要。
ランニングコストを最適化するための提案が必要。
例：長期休暇中の設備の自動停止。再開時の自動再始動機能　など

蒲田工業からのご提案内容

1階エリアには、排気設備を備えたクラス10,000の一般空調クリーンルームを設計・施工し、2階エリアにはクラス1,000の恒温恒湿クリーンルームを設計・施工しました。
また、クリーンルームの設計・施工に伴う付帯工事や、各種クリーン機器（エアシャワー、手洗い場、クリーンベンチ）の導入までをトータルでご提案しました。

解決のポイント

1階エリアのクリーンルーム内で使用する洗浄装置（有機溶剤を使用）には、排気設備としてスクラバーを採用しました。設置スペースが限られていたため、乾式スクラバー（活性炭フィルター付きのカートリッジ交換タイプ）を使用し、省スペース化とメンテナンスの簡略化を実現しました。
2階エリアには、恒温恒湿クリーンルーム（20℃±1℃、50％±15％）を施工し、オールインワン精密空調機を設置しました。短納期で施工を完了し、工期の短縮を図りました。また、作業スペースを広く確保するため、断熱パネル仕様の空調機械室を新設し、扉部分にガラリ、内部にツインファンを設置しました。これにより、リターンを取ることで壁面各所にリターン口を設ける必要がなくなり、省スペース化を実現しました。
空調ダクト工事では、効率的な施工を目指し、断熱パネル仕様のパネルダクト方式を採用しました。この方法により、保温ダクトの設置工事よりも工期が短縮され、全体の施工コストの削減に貢献しました。
クリーンルームに関連する付帯設備（エアシャワー、手洗い場、クリーンベンチ）も、当社で施工管理しました。
節電対策として、空調機にウィークリータイマーを導入しました。これにより、お客様のスケジュールに応じて自動的に設備の停止・再稼働ができるようになり、ランニングコスト削減につながりました。

施工写真

【1階エリア】クリーンルーム（一般空調）

クリーンルーム（一般空調）

【2階エリア】恒温恒湿クリーンルーム

恒温恒湿クリーンルーム

エアシャワー・手洗い場

乾式スクラバー

解決した内容、お客様の声

新工場であることから、本稼働後の搬入経路や動線を確認し、搬入口の設置位置を提案しました。また、室内の空調機設置や作業内容に基づいた付帯設備の最適なシステム選定を行いました。新工場引き渡し後からの短納期での対応が求められましたが、工程管理通りに滞りなく進めることができました。お客様からも、納期内に工事が完了し、大変助かったとの評価をいただきました。